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儀器型號(hào) | VMS-5040H | ||
工作臺(tái) | 玻璃臺(tái)尺寸（mm） | 570*470 | |
運(yùn)動(dòng)行程（mm） | 500*400 | ||
儀器重量（kg） | 1000 | ||
外形尺寸（mm） | 1270*1150*1860 | ||
Z軸升降行程 | 200 mm | ||
X、Y、Z數(shù)顯分辨力 | 0.5μm | ||
工作距離 | 92 mm | ||
X、Y坐標(biāo)示值誤差 | (3+L/75) μm (L為被測(cè)長(zhǎng)度，單位：mm) | ||
影 像 系 統(tǒng) | 攝像機(jī) | 彩色CCD | |
變倍鏡頭倍率 | 0.7X—4.5X | ||
物方視場(chǎng) | 11.1mm～1.7mm | ||
視頻倍率 | 23.5X～148X | ||
光源系統(tǒng) | 表面光源與透射光源均用LED，亮度可調(diào) | ||